SURFTNES HL200

適用于直徑達(dá) 8 英寸晶圓的接觸角測(cè)量?jī)x

物理背景

光刻材料（如光刻膠和顯影劑）的表面張力對(duì)光刻工藝本身具有重大的潛在影響。例如，旋涂涂層的均勻性、平整度以及附著力均直接依賴于所涉及材料的表面張力特性。類似地，涂層的表面自由能（SFE）也對(duì)其性能產(chǎn)生顯著影響。

在半導(dǎo)體技術(shù)中，基板及功能層的表面自由能（SFE）可通過(guò)接觸角測(cè)量技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)研究。通過(guò)精確測(cè)量接觸角，可以快速優(yōu)化新工藝步驟，并更好地標(biāo)準(zhǔn)化已知工藝。

晶圓表面特性的微小變化會(huì)在接觸角測(cè)量結(jié)果中表現(xiàn)為顯著且易于檢測(cè)的變化，從而為工藝改進(jìn)提供明確指導(dǎo)。投入少量時(shí)間進(jìn)行接觸角測(cè)量，能夠有效避免后續(xù)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的潛在問(wèn)題，進(jìn)而帶來(lái)顯著的經(jīng)濟(jì)效益。為了降低光刻膠結(jié)構(gòu)的缺陷密度并實(shí)現(xiàn)小于1微米的特征尺寸控制，確保光刻膠與基底之間的良好附著力至關(guān)重要。借助接觸角測(cè)量技術(shù)，可簡(jiǎn)便高效地實(shí)現(xiàn)對(duì)附著力的有效控制。

SURFTENS HL 200 晶圓接觸角測(cè)量?jī)x的特性

SURFTENS HL 200 接觸角測(cè)量系統(tǒng)專為半導(dǎo)體工業(yè)及科研領(lǐng)域開(kāi)發(fā)，特別適用于硅片表面處理過(guò)程中的工藝控制。它是分析硅片接觸角與潤(rùn)濕性的理想工具，能夠高效滿足對(duì)硅片潤(rùn)濕性進(jìn)行快速、高精度且便捷測(cè)量的需求。  

SURFTENS HL 200 晶圓接觸角測(cè)量?jī)x具有如下特性：

- 緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)省空間，采用封閉式機(jī)械基礎(chǔ)架構(gòu)；

- 配備高品質(zhì)測(cè)量物鏡，支持固定焦距以確保測(cè)量精度；  

- 內(nèi)置 USB 接口攝像頭，實(shí)現(xiàn)高清晰度圖像采集；  

- 所有核心組件集成于封閉式外殼內(nèi)，有效防止因外部干擾導(dǎo)致的錯(cuò)位；  

- 提供均勻且亮度可調(diào)的 LED 照明系統(tǒng)，確保測(cè)量環(huán)境的一致性與穩(wěn)定性；  

- 晶圓臺(tái)直徑為 200mm，表面鍍有特氟龍涂層以增強(qiáng)耐腐蝕性和防污染性能；  

- 支持晶圓臺(tái)在 X 軸和旋轉(zhuǎn)方向（φ）上的手動(dòng)精確調(diào)整及定位；  

- 特殊的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)，用于快速映射硅片上的接觸角分布；

- 可通過(guò)真空鑷子安全放置晶圓；  

- 晶圓臺(tái)具備 100 mm行程范圍及 360° 全角度旋轉(zhuǎn)功能，滿足多樣化測(cè)量需求；

- 測(cè)量結(jié)果在協(xié)議文檔和視頻圖像中同時(shí)呈現(xiàn)，便于不同維度的分析；

- 如有需要，可根據(jù)Wu/OWRK理論對(duì)表面自由能進(jìn)行計(jì)算。

該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓表面任意點(diǎn)的精確測(cè)量。

晶圓臺(tái)的手動(dòng) X 軸與 φ 軸均配備精密刻度，便于準(zhǔn)確定位至目標(biāo)位置。  

滴液系統(tǒng)調(diào)整功能如下：  

- 手動(dòng) Z 軸：用于調(diào)節(jié)針頭高度位置；  

- 手動(dòng) Y 軸：用于校正針頭中心位置；  

- 手動(dòng) X 軸：用于微調(diào)針頭聚焦位置。  

滴液系統(tǒng)的可配置方案如下：

- 配置單一的手動(dòng)直接滴液系統(tǒng)；

- 配置兩個(gè)手動(dòng)直接滴液系統(tǒng)；    

- 配置單一的自動(dòng)軟件控制直接滴液系統(tǒng)；  

- 配置兩個(gè)自動(dòng)軟件控制的直接滴液系統(tǒng)；

- 組合使用一個(gè)手動(dòng)直接滴液系統(tǒng)與一個(gè)自動(dòng)軟件控制的直接滴液系統(tǒng)。

具備高精度的自動(dòng)測(cè)量功能

測(cè)試液滴（通常為去離子水）由手動(dòng)或自動(dòng)直接滴液系統(tǒng)生成。液滴圖像將以高質(zhì)量實(shí)時(shí)視頻畫(huà)面即時(shí)顯示于電腦屏幕。通過(guò)單鍵操作即可啟動(dòng)測(cè)量流程，軟件能夠快速計(jì)算接觸角，并以圖形化方式呈現(xiàn)結(jié)果，同時(shí)提供詳細(xì)的數(shù)據(jù)信息。每滴測(cè)量時(shí)間僅為 1 秒，顯著減少誤差可能性。SURFTENS HL 200 在保證高重復(fù)性和測(cè)量精度的同時(shí)，兼具簡(jiǎn)便的操作體驗(yàn)。

測(cè)量軟件

測(cè)量軟件 SURFTENS 可基于多種液滴形狀擬合算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)懸滴接觸角的全自動(dòng)精確測(cè)量。液滴可通過(guò)圖像處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)識(shí)別與檢測(cè)。在低對(duì)比度條件下，軟件提供多種輔助的液滴檢測(cè)功能，例如支持手動(dòng)設(shè)定基線，以及通過(guò)在顯示器上指定測(cè)量點(diǎn)實(shí)現(xiàn)全手動(dòng)的接觸角測(cè)量。服務(wù)范圍因以下附加的測(cè)量功能與服務(wù)選項(xiàng)而得以進(jìn)一步擴(kuò)展：

- 在實(shí)時(shí)視頻圖像中動(dòng)態(tài)展示當(dāng)前接觸角的數(shù)值

- 自動(dòng)測(cè)量隨時(shí)間變化的接觸角，并以圖表形式呈現(xiàn)測(cè)量結(jié)果（循環(huán)時(shí)間可自由選擇，最高可達(dá)每秒50次）

- 基于實(shí)時(shí)視頻圖像進(jìn)行前進(jìn)接觸角與后退接觸角的測(cè)量

- 同時(shí)測(cè)量左側(cè)和右側(cè)的接觸角

- 在分配過(guò)程及滴液放置完成后，對(duì)液滴體積進(jìn)行精確檢測(cè)

該軟件內(nèi)置了一個(gè)基于 OWRK/Wu 理論的評(píng)估模塊，能夠通過(guò)最多 5 種測(cè)量液體的接觸角數(shù)據(jù)計(jì)算固體的表面自由能。

從實(shí)時(shí)視頻流中提取 AVI 文件的功能極為實(shí)用。之后，所有的測(cè)量和文檔功能都適用于整個(gè)視頻或視頻中的任何單個(gè)圖像。

測(cè)量結(jié)果可以方便地存儲(chǔ)在記錄中或視頻圖像里。

技術(shù)參數(shù)：

- 樣品載物臺(tái)：直徑 200mm或300mm，支持 X/φ 精確定位

- 樣品厚度：0~5mm

- 接觸角測(cè)量范圍：1°~180°

- 接觸角測(cè)量分辨率/精度：0.01°/±0.1°（在實(shí)時(shí)視頻模式下，基于接觸角標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量時(shí)）

- 光學(xué)系統(tǒng)（標(biāo)準(zhǔn)配置）：1x放大率，電動(dòng)可調(diào)焦

- 視頻系統(tǒng)（標(biāo)配）：黑白，USB 2.0接口，44萬(wàn)像素

- 測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傾斜角度：固定為約 1°

- 光源：長(zhǎng)壽命發(fā)光面板

- 加液?jiǎn)卧簡(jiǎn)蝹€(gè)手動(dòng)（標(biāo)配）；雙加液?jiǎn)卧蛉詣?dòng)加液系統(tǒng)（選配）

- 最小滴定體積：0.2 μL  

- 滴定分辨率/精度：0.1 μL（以水為介質(zhì)）  

- 注射器類型：玻璃注射器或帶 Luer-lock 的一次性注射器  

- 操作系統(tǒng)：Windows