六氟化硫（sf6）作為一種應用廣泛的絕緣介質，也存在一些問題。sf6作為一種絕緣介質，與氣體的含水量，即微水含量密切相關。

在電弧電暈作用下，SF6與水反應生成強腐蝕性HF物質和劇毒氟化物，危及設備和人員的安全，嚴重時可能發生爆炸事故。

當設備內SF6氣體濕度過高，絕緣子表面為液體時，絕緣子表面放電電壓降低，也會降低設備內部絕緣。

除濕度外，在用設備的絕緣還與溫度、壓力等其他參數有關。設備的絕緣等級也在不同壓力下測量的相同濕度值下變化。

微氣態水試驗有兩個主要標準：

六氟化硫（20℃，0.1013MPa）微水試驗標準

①斷路器滅弧室空氣室：再次充氣后不大于150ppm，運行時不大于300ppm；

②無弧分解室：充填后不大于250ppm，運行時不大于500ppm。

六氟化硫裝置的主要水源為：

1. 新鮮六氟化硫氣體中的水

2. 設備組裝過程中進水

3. 固體絕緣物體釋放的水分

4. 操作時，水進入密封

5. 補氣進水，運行中多次試驗

6. 氣室吸附劑不起作用，因此對吸附劑的含量檢測和濕度控制對安全供電和供水非常重要。