產(chǎn)品主要作用：用于等離子干刻工序

產(chǎn)品中文名：六氟乙烷

產(chǎn)品英文名：Hexafluoroethane

化學(xué)式：C2F6

CAS號(hào)：76-16-4

UN 號(hào)：2193

純度：99.999%

閥門型號(hào)：CGA660/DISS716