六氟乙烷
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品主要作用:用于等離子干刻工序
產(chǎn)品中文名:六氟乙烷
產(chǎn)品英文名:Hexafluoroethane
化學(xué)式:C2F6
CAS號(hào):76-16-4
UN 號(hào):2193
純度:99.999%
閥門型號(hào):CGA660/DISS716
六氟乙烷
產(chǎn)品主要作用:用于等離子干刻工序
產(chǎn)品中文名:六氟乙烷
產(chǎn)品英文名:Hexafluoroethane
化學(xué)式:C2F6
CAS號(hào):76-16-4
UN 號(hào):2193
純度:99.999%
閥門型號(hào):CGA660/DISS716