產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積等工序

產(chǎn)品中文名：硅烷

產(chǎn)品英文名：Silane

化學(xué)式：SiH4

CAS號(hào)：7803-62-5

UN 號(hào)：2203

純度： 99.9999%

閥門(mén)型號(hào)：CGA350/DISS632