產品主要作用：用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入等工序

產品中文名：SDS磷烷

產品英文名：Phosphine

化學式：PH3

CAS號：7803-51-2

UN 號：2199

純度：>99.9999%

閥門型號：1/4VCR/1/2VCR